一种六维力传感器及改善六维力传感器温度漂移的方法

摘要

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种六维力传感器及改善六维力传感器温度偏移的方法，该六维力传感器，包括内圈结构、外圈结构以及均匀分布在内圈和外圈结构之间的若干测量梁，所述测量梁包括四个臂面，分别为上臂面、和上臂面相对的下臂面、左臂面、和左臂面相对的右臂面，所述臂面上均设有应变片，其中，相对臂面上的应变片为一对，所述内圈结构上对称开设有偶数个的凹槽，偶数个所述凹槽的表面均延伸有凸起，所述凸起上设有位置相互对应的第一温度补偿应变片和第二温度补偿应变片。该六维传感器改善了传统六维力传感器在机械臂末端靠近发热体时，上下表面存在温度差而引起的温漂。