法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 授权公告日:20130227 终止日期:20170905 申请日:20110905
专利权的终止
2013-02-27
授权
授权
2013-02-27
授权
授权
2012-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/68 申请日:20110905
实质审查的生效
2012-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20110905
实质审查的生效
2011-12-14
公开
公开
2011-12-14
公开
公开
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机译: 一种具有自动激光喷嘴对准的将激光束耦合到流体射流中的工件的加工装置;对准梁的方法
机译: 一种具有自动激光喷嘴对准功能的将激光束耦合到流体射流中的工件的加工装置;对准梁的方法
机译: 激光束加工位置对准方法,激光束加工方法,激光束加工装置以及制造太阳能电池板的方法