使用耦合至流体射流中的激光束利用激光-喷嘴自动对准加工工件的设备、对准该激光束的方法

摘要

本发明涉及利用耦合至流体射流中的激光束(101)加工工件的设备(100)。设备(100)包括：用于提供激光束(101)的激光单元(101a)；具有孔(102a)的用于产生流体射流的喷嘴单元(102)；配置成将来自激光单元(101a)的激光束(101)提供到喷嘴单元(102)上的光学单元(103)。另外，设备(100)包括配置成控制(108，110)光学单元(103)和/或喷嘴单元(102)以改变激光束(101)在喷嘴单元(102)上的入射点(109)的控制单元(104)。设备(100)还包括配置成感测从喷嘴单元(102)的表面(102b)反射的激光(106)并基于感测到的反射的激光(106)产生感测信号(107)的感测单元(105)。控制单元(104)特别配置成评估感测信号(107)并在感测信号(107)中确定定义的指示激光束(101)与孔(102a)完全和/或部分对准的感测图案。