一种微观晶圆表面缺陷图像检测方法

摘要

本发明公开了一种微观晶圆表面缺陷图像检测方法。由已标记缺陷类型及其标定包围盒的微观晶圆原始图像构建训练集；由训练集利用更快速区域卷积神经网络方法和区域建议网络结合进行模型训练，得到最终模型；采集工业生产中拍摄的微观晶圆图像，并用最终模型进行检测得到图像中缺陷的位置。本发明方法可以很好地对微观晶圆表面缺陷进行识别和定位，并且识别的效率也有了很大提高。