柔性PMUT阵列

摘要

公开柔性PMUT阵列和其制造方法的实施例。在一个实施例中，一种压电式微机械超声换能器PMUT阵列包括多个PMUT，其中所述PMUT的柔性阵列中的每一PMUT包含：被配置成支撑所述PMUT的第一聚合物层，被配置成对所述PMUT提供平面化的机械层，第一电极，第二电极，被配置成分离所述第一电极与所述第二电极的压电层，在所述第一电极、压电材料和所述第二电极上的被配置成路由电信号的图案，和被配置成调整所述PMUT的频率响应的腔体。