公开/公告号CN108700524A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 诺威量测设备股份有限公司;
申请/专利号CN201680081834.7
申请日2016-12-15
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人梁丽超
地址 以色列雷霍沃特
入库时间 2023-06-19 06:54:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/66 申请日:20161215
实质审查的生效
2018-10-23
公开
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机译: 图案结构中基于拉曼光谱的测量
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