公开/公告号CN108699671A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201680082575.X
申请日2016-02-03
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 06:54:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/04 申请公布日:20181023 申请日:20160203
发明专利申请公布后的视为撤回
2018-10-23
公开
公开
机译: 使用正/负光致抗蚀剂通过双电铸形成锥形开口的阴影面膜
机译: 使用正/负光致抗蚀剂通过双电铸形成锥形开口的阴影面膜
机译: 带有锥形开口的阴影掩模,由双电铸形成,内部应力降低