一种He-Ne激光器双折射外腔回馈位移测量系统

摘要

本发明涉及一种He-Ne激光器双折射外腔回馈位移测量系统，它包括全内腔He-Ne单纵模激光器，其发出单频线偏振光，一部分单频线偏振光经外腔回馈系统向稳频信号探测和处理系统发送回馈光，另一部分由稳频信号探测和处理系统向全内腔He-Ne单纵模激光器发送稳频探测信号；全内腔He-Ne单纵模激光器向测量信号探测与处理系统发出回馈调制光，得到测量结果；外腔回馈系统包括压电陶瓷、外部反射镜和双折射元件，压电陶瓷在外部驱动电压作用下推动外部反射镜沿激光轴线方向左、右移动，全内腔He-Ne单纵模激光器输出的单频线偏振光经外部反射镜反射，两次经过双折射元件，回馈到谐振腔中。本发明具有量程大、分辨率高的特点，本发明能广泛应用于激光测量系统应用中。