空气动力学透镜聚焦颗粒束宽及发散角检测装置

摘要

本发明公开了一种空气动力学透镜聚焦颗粒束宽及发散角检测装置。该装置包括检测器、截止阀、分子泵、检测部件、发光部件、第一靶板以及第二靶板。检测器具有检测腔以及连通于检测腔的安装口，安装口用于供待检测的空气动力学透镜安装，空气动力学透镜的一端与检测腔连通另一端用于与气溶胶发生器连通；截止阀设在空气动力学透镜的进样管上。分子泵连接在检测器的外部且连通于与检测器。第一靶板以及第二靶板顺序设在检测腔内且第一靶板靠近于安装口，第一靶板以及第二靶板上均具有真空脂层。检测部件以及发光部件均连接在检测器上且均位于安装口以及第一靶板之间。该装置检测结果准确、成本低、操作维护简单。