磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论

摘要

本文采用宽束曲轴电子光学理论，研究了磁浸没透镜的电子光学特性，得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程，并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数.针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜，文中还计算了它的曲轴二级像差，并给出了其孔径像差的弥散图形情况，从而得出了磁浸没透镜的特殊的电子光学像差特性.