一种分离式便携小型扫描电子显微镜

摘要

本发明涉及一种分离式便携小型扫描电子显微镜，由光学量测及信号采集系统、控制及成像系统、高速无线通信系统组成，控制及成像系统通过高速无线通信系统远程控制光学量测及信号采集系统，收集信号电子数据结果并进行信号记录、处理和成像显示。通过高速无线通信技术，实现将光学量测及信号采集系统、控制及成像系统的分离，实现扫描电子显微镜的模块化，提高其量测部分的便携性，通过共享与整合控制及成像系统，减小所需的空间，实现扫描电子显微镜的小型化，有助于扫描电子显微镜的野外量测和二次开发。