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一种将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法

摘要

本发明提供了一种将A‑S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法,包括以下步骤:(1)先将放置有样品的A‑S通用样品台在SEM中观察,找到目标区域;(2)记录该区域的目标坐标;(3)将A‑S通用样品台转移到AFM样品台上,得到目标坐标在AFM样品台中的新坐标。本发明提供的将A‑S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法,解决了A‑S通用样品台转移到AFM样品台后目标点坐标的重新定位,实现了SEM与AFM的联用,大大提高AFM的工作效率,极大的丰富科研人员对纳米材料的认知。

著录项

  • 公开/公告号CN108548943A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201810185560.7

  • 发明设计人 刘金超;

    申请日2018-03-07

  • 分类号

  • 代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司;

  • 代理人刘杉

  • 地址 510450 广东省广州市天河区五山路381号

  • 入库时间 2023-06-19 06:31:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/24 申请日:20180307

    实质审查的生效

  • 2018-09-18

    公开

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