一种多晶硅锭的制备工艺及其多晶硅锭

摘要

本申请提供了一种多晶硅锭的制备工艺及其多晶硅锭，涉及太阳能电池铸锭技术领域，所述工艺包括装料、加热熔化、结晶、退火和冷却，特征在于，在加热熔化后期逐渐升高隔热笼至第一高度，打开抽板。控制隔热笼的上升速度，将隔热笼从第一高度逐渐调整到第二高度后停止上升，控制抽板配合隔热笼的高度逐渐打开至设定开度后停止。控制退火时间在130‑140分钟。本申请还提供了采用该工艺制备的多晶硅锭。本申请提供的制备工艺，在缩短铸锭周期、提高产率、减少能耗的同时，制备出的多晶硅锭表面无冻硅，开方后无整锭裂伤，检测结果显示红区长度降低，铸锭良率提高。