用于压电悬臂梁的振动、蠕变及迟滞级联补偿方法

摘要

本发明公开了一种用于压电悬臂梁的振动、蠕变及迟滞级联补偿方法，针对微系统中的迟滞、蠕变等非线性和振动限制了微操作中的精度问题，利用前馈技术改善用于微操作任务中的压电悬臂梁的总体性能；使用动态线性模型，将蠕变部分与阶跃响应曲线分离来识别蠕变；确定线性静态增益和蠕变模型，使用开环控制来补偿蠕变；在零振动输入整形技术的基础上，确定阻尼振荡系统的增益，考虑输入的脉冲振幅及其应用时间的延迟。本发明可以降低迟滞非线性，减小蠕变，并大幅移除超调，提高微观调节的便利性与稳定性。