GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台

摘要

本发明是一种GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台。采用圆周转动测试方法，设计中采用了高精度的三维移动平台、步进电机驱动的旋转平台和探针座，配以CCD视频显微镜进行设备调整和测试过程监控，设计的C型机架和架空平台以构成较好的人机操作结构，配以不同规格专门设计的载片定位夹具满足不同尺寸芯片测试需要。该测试台通过在GCT芯片生产中的应用，在可靠性、检测准确性和高效率等方面满足规模化生产的测试需要。本测试台就是为满足GCT芯片的门/阴极之间数千只二极管特性进行直流电压阻断测试，以高效、准确地筛选出个别失效器件，并做以标识，为后续工艺修补提供可能性。