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具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器

摘要

本发明揭示一种衬底容器,其具有安装到偏置致动连杆组的衬底保持件及具有闩锁协助的门组合件。本发明揭示用于将所述衬底保持件偏置于衬底非接合位置中的各种配置。所述偏置帮助防止所述衬底保持件归因于摩擦力而意外停机,所述摩擦力原本可能抵消原本所依赖用来脱离的重力。所述组合件也可包含积极地将所述衬底保持件固定到所述致动连杆组的保持夹。所述闩锁协助提供递送所存储能量以协助将所述门组合件闩锁于所述衬底载体及从所述衬底载体解锁所述门组合件的弹簧。所述闩锁协助进一步提供将所述闩锁机构偏置在解锁或完全闩锁配置中的偏心力。

著录项

  • 公开/公告号CN108475651A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 恩特格里斯公司;

    申请/专利号CN201680065404.6

  • 发明设计人 A·M·蒂班;C·斯缇克浩斯尔;

    申请日2016-09-12

  • 分类号

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人顾晨昕

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2023-06-19 06:20:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/673 申请日:20160912

    实质审查的生效

  • 2018-08-31

    公开

    公开

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