用于等离子体室的可变图案分离网格

摘要

提供了用于使用可变图案分离网格在等离子体处理设备中处理衬底的系统、方法和设备。在一个示例实现方式中，等离子体处理设备可以具有等离子体室和与等离子体室分离的处理室。该设备还可以包括将等离子体室与处理室分离的可变图案分离网格。可变图案分离网格可以包括多个网格板。每个网格板可以具有一个或更多个孔的网格图案。该多个网格板中的至少一个网格板可以相对于该多个网格板中的其他网格板移动，使得可变图案分离网格可以提供多个不同的复合网格图案。