一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统

摘要

本发明公开了一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统，所述光学系统沿入射光路自前向后依次间隔设置光阑D、凹凸透镜A1、凹凸透镜A2、双凸透镜A3、凹凸透镜A4；其中光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上；所述凹凸透镜A1的入射面为凹面，出射面为凸面；所述凹凸透镜A2的入射面为凹面，出射面为凸面；所述凹凸透镜A3的入射面为凸面，出射面为凹面；所述光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上；所述共焦光学系统的物面空间NA等于0.17；所述共焦光学系统的波长为400nm、600nm、800nm、1000nm；本发明共焦光学系统结构简单，并使得镀膜透镜中心厚度的测量范围达到11.5mm以上，大幅提高精度。