在真空涂覆工艺中利用范德华力夹持盖板基材的方法和设备

摘要

用于在真空室中对移动装置的盖板基材进行真空加工的夹持设备和方法，其中所述夹持设备被构造成在真空室中临时固定盖板基材，并且该夹持设备包括载体基材，所述载体基材的热膨胀系数(CTE)与盖板基材的CTE的偏差在盖板基材的CTE的20％以内，以防止载体基材和盖板基材在真空室中进行加工期间，由于热膨胀率差异而变得彼此脱离。载体基材具有与盖板基材接触的表面接触区域，对该表面接触区域进行选择以在真空室中进行加工期间提供持续粘结，并且在真空中的工艺完成之后提供脱粘结。另外，将载体基材准备用于清洁过程，该清洁过程有助于载体基材与盖板基材之间的范德华粘结。