利用静电卡盘和范德华力涂覆玻璃基材的设备和方法

摘要

公开了用于利用真空沉积工艺涂覆玻璃基材的夹持设备和方法。在一个或多个实施方式中，所述夹持设备包括静电卡盘(ESC)、设置在ESC上的载体，其中，所述载体包括毗邻ESC的第一表面和相对的第二表面，所述第二表面用于与玻璃基材的第三表面形成范德华粘结，而无需在与第三表面相对的玻璃基材的第四表面上施加机械力。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：将载体和玻璃基材设置在ESC上，以使载体在玻璃基材和ESC之间，从而形成夹持组件；在载体与玻璃基材之间形成范德华粘结；以及将涂层真空沉积在玻璃基材上。