一种薄膜内应力的测试方法

摘要

本发明提供一种薄膜内应力的测试方法，包括步骤：提供一待测薄膜样品；以恒定的升温速度升温待测薄膜样品至预设温度，获取升温过程中待测薄膜样品的最大收缩率，以表征待测薄膜样品的内应力。通过上述方案，本发明通过测试并获取待测薄膜样品在以恒定的速度升温的过程中的最大收缩率，来表征待测薄膜的内应力，可以定量的表征待测薄膜的内应力，且稳定的升温速度下待测薄膜，如聚合物薄膜，产生相态转变，可稳定测出其形变情况，测试精度高，且本发明测试内应力的测试时间是由升温速度和范围所决定的，不受样品本身状态的影响，不仅可以定量测出待测薄膜内应力，而且可以大幅缩短测试时间。