基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统

摘要

本发明提供的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统，对准分子激光器温度控制进行温度补偿，将Smith预估补偿与PID温度控制相结合构成复合控制，有效减小温度控制的滞后时间和超调量，提高系统的工作稳定性和响应时间。