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一种负电容场效应晶体管中抑制随机掺杂效应的建模方法

摘要

本发明公开了一种负电容场效应晶体管中抑制随机掺杂效应的建模方法。该方法提供了NC‑MOSFET的剖面结构,在传统MOSFET的金属栅极上添加一层氧化铪(HfO)作为铁电材料,实现负电容的集成制作。建立了NC‑MOSFET的串联等效电容模型,解析了器件的性能参数与负电容的数学关系,并根据电容分压原理,推导内部栅极的电压,明晰了内部电压放大的机制,通过计算

著录项

  • 公开/公告号CN108416179A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州电子科技大学;

    申请/专利号CN201810465594.1

  • 发明设计人 吕伟锋;

    申请日2018-05-16

  • 分类号

  • 代理机构杭州千克知识产权代理有限公司;

  • 代理人周希良

  • 地址 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

  • 入库时间 2023-06-19 06:13:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20180516

    实质审查的生效

  • 2018-08-17

    公开

    公开

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