形成具有半导体发光器件以改善发射波长均匀性的产品晶片的方法

摘要

形成具有半导体发光器件以提高发射波长均匀性的产品晶片的方法包括估计或者测量已经形成的产品晶片的发光器件的发射波长的空间变化。该方法还可以包括限定用于反馈回到上游过程以减少在形成新的产品晶片时的发射波长的变化的校正温度分布。该方法还可以包括在形成新的产品晶片时施加校正温度分布，使得新的产品晶片在形成发光器件时比已经形成的产品晶片具有更高的产量。