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获得具有提高的周期的包含嵌段共聚物的厚有序膜的方法

摘要

获得具有提高的周期的包含嵌段共聚物的厚有序膜的方法。本发明涉及一种获得沉积在表面上的具有提高的在纳米尺度上的周期(典型地>10nm)的包含嵌段共聚物(BCP)的组合物的厚有序膜(典型地>20nm)而不降低其他关键结构化参数(动力学、结构化缺陷、临界尺寸均匀性)的方法,无论取向如何(垂直于基底,平行于基底等);该组合物具有在0.5和40之间的χ有效*N的乘积(其中χ有效=所考虑的两个嵌段之间的弗洛里哈金斯参数,且N为这两个嵌段的总聚合度)。

著录项

  • 公开/公告号CN108369373A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 阿科玛法国公司;

    申请/专利号CN201680073926.0

  • 发明设计人 C.纳瓦罗;C.尼科莱;X.舍瓦利耶;

    申请日2016-12-16

  • 分类号G03F7/00(20060101);C08L53/00(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人詹承斌

  • 地址 法国科隆布

  • 入库时间 2023-06-19 06:32:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20161216

    实质审查的生效

  • 2018-08-03

    公开

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