公开/公告号CN108352450A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 阿尔塔纳股份公司;
申请/专利号CN201680067129.1
发明设计人 M·埃格特;S·费泽;S·托德特-凯尼格;
申请日2016-11-15
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人张蓉珺
地址 德国韦塞尔
入库时间 2023-06-19 06:32:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/05 申请日:20161115
实质审查的生效
2018-07-31
公开
公开
机译: 用于电子器件中的介电层的可交联聚合物材料
机译: 用于电子器件中的介电层的可交联聚合物材料
机译: 由此产生的电子器件以及用于制造超低介电常数材料作为半导体器件中的层内或层间电介质的改进方法。