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一种溶液燃烧法制备的具有模拟和数字多功能的NiO基忆阻器件及制备方法

摘要

本发明涉及微电子的技术领域,更具体地,涉及一种溶液燃烧法制备的具有模拟和数字多功能的NiO基忆阻器件及制备方法。一种溶液燃烧法制备的具有模拟和数字多功能的NiO基忆阻器件,其中,由下至上,包括衬底、金属底电极、NiO基阻变介质层、金属顶电极。该NiO基忆阻器件的制备,其特征在于NiO基介质层利用溶液燃烧法,采用涂布工艺制备,优点在于采用溶液燃烧法可印刷工艺制备阻变介质层薄膜,和传统的真空沉积制备薄膜的工艺相比,成膜温度低、设备简单无需真空、成本低、适合大面积制备。

著录项

  • 公开/公告号CN108365089A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中山大学;

    申请/专利号CN201810011585.5

  • 发明设计人 李亚;裴艳丽;储金星;

    申请日2018-01-05

  • 分类号H01L45/00(20060101);

  • 代理机构44102 广州粤高专利商标代理有限公司;

  • 代理人陈伟斌

  • 地址 510275 广东省广州市新港西路135号

  • 入库时间 2023-06-19 06:30:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20180105

    实质审查的生效

  • 2018-08-03

    公开

    公开

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