用于将氧化锌沉积在衬底上的方法

摘要

本发明涉及一种用于将氧化锌沉积在衬底上的方法，其中氧化锌用作源材料。在此，在第一阶段中，氧化锌还原成元素锌，原位产生的元素锌蒸汽状地引至待覆层的衬底并且在那里暴露于氧化气氛。在此，进行氧化锌在衬底的表面上的沉积。本发明的特征在于，将甲烷或另一还原剂用于将用作源材料的氧化锌还原成元素锌，所述另一还原剂在还原时占优的条件下通过热分解释放甲烷和/或甲基自由基。所产生的锌气体流在反应器的另一部分中在输送氧气或其他氧化性物质的条件下直接用于沉积结晶的氧化锌层。