一种卷绕式PVD物理学沉积真空磁控溅射镀银铜合金层方法

摘要

本发明公开一种卷绕式PVD物理学沉积真空磁控溅射镀银铜合金层方法，包括在PET基膜表面除杂预处理、抽真空、充入惰性气体、加热、溅射复合多种金属层等步骤。磁控溅射镀表银铜合金层的总厚度很薄，有效节省了生产时间；使得PET基膜表面层最终达到电流导通、电磁波防护、屏蔽信号干扰作用，复合合金层可以大幅度提高导电层与外界介质的阻隔性，电磁波防护、屏蔽信号干扰、提高整体屏蔽效果。