公开/公告号CN102194656B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 扬智科技股份有限公司;
申请/专利号CN201010134548.7
发明设计人 林建明;
申请日2010-03-16
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人任默闻
地址 中国台湾台北市
入库时间 2022-08-23 09:12:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20130123 终止日期:20190316 申请日:20100316
专利权的终止
2013-01-23
授权
授权
2013-01-23
授权
授权
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20100316
实质审查的生效
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20100316
实质审查的生效
2011-09-21
公开
公开
2011-09-21
公开
公开
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