可用于微小物体检测的超小尺寸超小光斑激光传感器

摘要

本发明涉及一种可用于微小物体检测的超小尺寸超小光斑激光传感器，包括半导体激光发生器、高精度透镜光学系统，该激光传感器还包括线性COMS位置传感器模块以及信号处理系统；所述信号处理系统包括放大滤波电路模块、高速AD转换电路模块、高速FIFO电路模块、DSP控制电路模块、比较及筛选电路模块、像元计数处理电路模块、信号指示输出电路模块。本发明通过采用上述电路设计，能使激光传感器达到超小尺寸、超小光斑和超高精度的效果，激光光斑直径仅为0.5mm，既能满足安装空间的要求，尤其对于高精密智能化设备的要求，又能实现对直径小于1mm的微小物体如芯片的针脚，头发丝等类似物品的稳定可靠的检测。