具有结构化的金属层的声换能器组件和用于制造具有结构化金属层的声换能器组件的方法

摘要

本发明提出一种声换能器组件(100)，包括孔板承载件(101)、多个压电元件(105)和封闭层(108)，该孔板承载件具有水平间隔开布置的第一空缺部(102)和水平间隔开布置的第二空缺部，其中，第一空缺部(102)和第二空缺部(103)分别相叠地邻接地布置，其中，第二空缺部(103)的水平延展尺度大于第一空缺部(102)的水平延展尺度，从而在孔板承载件(101)内部形成支承面(104)，其特征在于，每个第二空缺部(103)具有一个压电元件(105)，并且压电元件(105)部分地布置在支承面(104)上，其中，每个压电元件(105)具有这样的水平延展尺度，该水平延展尺度大于第一空缺部(102)的水平延展尺度并且小于第二空缺部(103)的水平延展尺度，从而沿水平方向在孔板承载件(101)与压电元件(105)之间形成空腔，并且封闭层(108)布置在孔板承载件(101)和压电元件(105)上，其中，封闭层(108)具有结构化的第一金属层(109)，该结构化的第一金属层布置在压电元件(105)上方并且起膜片作用。