公开/公告号CN108223245A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 华电电力科学研究院;
申请/专利号CN201711478707.3
申请日2017-12-29
分类号F03B13/00(20060101);F03B15/00(20060101);G06Q50/06(20120101);
代理机构33209 杭州天欣专利事务所(普通合伙);
代理人张狄峰
地址 310030 浙江省杭州市西湖区西湖科技经济园西园一路10号
入库时间 2023-06-19 05:49:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):F03B13/00 申请日:20171229
实质审查的生效
2018-06-29
公开
公开
机译: 用于有机装置的制造装置沉积室的评价方法,标准掩模装置和评估方法的标准衬底,标准掩模装置的制造方法,以及通过沉积层评估的有机装置评价的气相沉积室的有机装置的制造装置 形成在评估方法中评估的沉积室,以及有机装置制造装置的沉积室的维护方法
机译: 信息技术利用评价装置,信息技术利用评价系统以及信息技术利用评价方法
机译: 信息技术利用评价装置,信息技术利用评价系统及信息技术利用评价方法