版图的仿真图像和硅片SEM图像自动匹配的方法

摘要

本发明公开了一种版图的仿真图像和硅片SEM图像自动匹配的方法，包括如下步骤：步骤1、提取SEM图像中硅片版图的内轮廓图像；步骤2、从硅片版图的内轮廓图像提取模板图像；步骤3、使用模板匹配算法将模板图像分别与版图的仿真图像匹配，选出最佳匹配的模板图像以及与它对应的旋转角度、放大或缩小倍数、模板中心在版图的仿真图像上的匹配坐标。本发明能够自动实现版图的仿真图像和硅片SEM图像的匹配。