一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法

摘要

本发明提供一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法包括：a)搭建加工平台，加工平台包括800nm飞秒激光器、高精度三维运动平台、聚焦物镜和高反镜；b)在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI‑1060光纤固定在光纤夹具上；飞秒激光依次穿过半波片、偏振片、衰减片和窗口，经高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI‑1060光纤，对HI‑1060光纤划线刻写，得到光栅周期为400um的长周期光纤光栅；c)重复步骤c)制作腔长为20um的光纤F‑P传感器；d)将步骤b)中制作得到长周期光纤光栅与步骤c)中制作得到光纤F‑P传感器通过级联的方式组成多参数传感器。本发明制作的多参数传感器实现同时测量温度、应变和折射率，并保证了测量的精度。