20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统和检测方法

摘要

本发明涉及电子元器件检测技术领域，公开了20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统和检测方法，包括：X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板，电脑显示器、电气控制面板、同步气浮减震自平衡装置安装在X射线防护框架组件上；装载门安装在主门上；伺服运动控制组件安装于同步气浮减震自平衡装置上；X射线影像装置安装于伺服运动控制组件上。本发明获得三维成像，通过伺服运动控制组件，实现了360°全方位的检测，并通过同步气浮减震自平衡装置作为支撑装置，用来提供平稳的支撑，具有调节同步、平衡性好的优点。