一种探测多孔薄膜有序纳米管状孔排列的方法

摘要

本发明公开了一种探测多孔薄膜有序纳米管状孔排列的方法，通过基于慢正电子束的多普勒展宽谱，对待测纳米多孔薄膜进行样品‑束流几何多普勒展宽谱测量，即将待测纳米多孔薄膜绕束流轴线旋转90°，前后两次采集其多普勒展宽谱，接着分别计算出两次所采集的多普勒展宽谱的线型S参数或线型W参数，通过两次测量的线型S参数和线型W参数的变化，判断待测纳米多孔薄膜的有序性。本发明的方法不仅能够探测材料的表面信息，还能够准确检测到薄膜中的孔结构信息以及缺陷等随深度分布变化的信息，并且基板不影响薄膜孔隙率的探测，从而无需将薄膜从基板上剥离，因此不会损坏薄膜中的纳米孔结构，保证了测量结果的准确性和样品的重复利用率。