非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置

摘要

本发明属光学加工技术领域，尤其涉及一种非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置。智能柔性抛光方法包括（1）机器人通过传感器扫描工件采集工件特征信息；（2）机器人控制系统确定抛光理论轨迹；（3）抛光机构带动抛光气囊沿抛光理论轨迹在工件表面上运动，准确控制光学元件表面上各点材料去除量；（4）机器人控制系统多次迭代运算，控制工件面形误差。智能柔性抛光装置包括机器人（1）、旋转接头（2）、工作台（10）、气压调节装置（12）、机器人控制系统（13）、抛光机构（7）及计算机（14）。本发明加工区稳定，面形适应性好，可实时监控抛光系统的运行情况，实现对大尺寸深曲率非球面进行超精密抛光。