一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面污垢；S2、在磁控溅射设备的溅射腔内设置ZnO靶材、Al2O3靶材与MnO2靶材，三个靶材依次间隔呈弧形分布；S3、清洗后的衬底置于溅射腔内的样品架上，样品架采用可旋转式样品架，使溅射时衬底能够以圆周方式运行，并依次经过三个靶材；S4、当溅射腔内真空度满足要求时，通入溅射气体氩气，在衬底上溅射沉积得到Al、Mn共掺杂ZnO薄膜；设置三个相互独立的靶材，每个靶材的溅射参数可根据需要单独设置，可制备任意掺杂量的Al、Mn共掺杂ZnO薄膜；制备工艺简单，重复性好，并且可节约大量靶材成本。