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飞行时间带电粒子光谱术

摘要

本发明涉及飞行时间带电粒子光谱术。一种用于执行带电粒子光谱术的装置,包括:源,用于产生沿着射束路径传播的带电粒子的脉冲射束;样本保持器,用于将样本保持在所述射束路径中的照射位置处;检测器装置,用于执行对穿越所述样本的带电粒子的能量区分检测,其中,在所述源与所述检测器装置之间,所述射束路径相继穿越下述各部分:充能腔,用于对所述射束施加时间相关的加速场;初级漂移空间;所述照射位置;时间聚焦腔,用于将所述射束中的能量差异转换成飞行时间差异;次级漂移空间。

著录项

  • 公开/公告号CN108122730A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI 公司;

    申请/专利号CN201710623476.4

  • 申请日2017-07-27

  • 分类号H01J49/40(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人周学斌;张涛

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2023-06-19 05:36:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/40 申请日:20170727

    实质审查的生效

  • 2018-06-05

    公开

    公开

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