膜片、使用膜片的压力传感器、膜片的制造方法

摘要

本发明提供没有气体的泄漏风险，耐久性高的膜片、以及使用了该膜片的压力传感器。本发明是包括平板形状的受压部(101a)、以及框状的支撑部(101b)的金属制的膜片(101)，其特征在于，受压部(101a)具有相对于平板形状的受压部(101a)的平板面平行地发展的金属组织。