一种提高类富勒烯薄膜结合力和摩擦学性能的方法

摘要

本发明公开了一种提高类富勒烯薄膜结合力和摩擦学性能的方法。该方法利用等离子体增强化学气相沉积技术，利用氮气、磷化氢和甲烷作为气源，在射频电源和脉冲负偏压的共同作用下在基底上沉积类富勒烯薄膜。其特点是：工艺简单，经济高效，沉积温度低，重复性好，摩擦系数极低，钢基底与类富勒烯薄膜结合力提升效果明显。采用这种方法能够大幅度提升类富勒烯薄膜的结合力和摩擦学性能，使类富勒烯薄膜起到更好的润滑效果。此方法不仅适用于不锈钢表面，在陶瓷、高分子材料、复合材料等材料领域也同样适用，具有广阔的应用前景。因此该发明所提供的提高结合力和摩擦学性能的方法应用潜力巨大。