含氢类富勒烯碳膜的制备及其摩擦学性能研究

摘要

利用磁控溅射在CH4与Ar气氛下制备了一种含氢碳膜，通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪以及摩擦试验机对薄膜结构及其摩擦学性能进行了分析，结果表明：该含氢碳膜结构可以表述为类富勒烯结构均匀的镶嵌在无定型碳网络当中;薄膜表现出较高的硬度(21GPa)和高的弹性恢复(85﹪)能力，并且在空气中表现出极低的摩擦系数。