一种制备工业级四氯化硅的方法

摘要

本发明涉及一种制备工业级四氯化硅的方法。以硅粉为原料，硅粉和HCl气体发生氯化反应，反应产物含有氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅及少量未反应的HCl和硅粉，尾气至后续处理，三氯氢硅除尘后进行下一步反应；以紫外光作为光源，三氯氢硅和氯气进行反应，光化学反应温度为25‑50℃，得到四氯化硅；未反应的氯气和生成的HCl经后续工序分离；未反应的氯气和生成的HCl经分离后，氯气返回进行反应，HCl返回进行反应。本发明反应温度低，大大降低了制备四氯化硅对设备的腐蚀和能耗；副反应产物少，四氯化硅选择性≥98％。对硅粉质量要求低。