光栅尺、光电编码器、距离测量方法以及距离测量装置

摘要

本发明涉及一种光栅尺、光电编码器、距离测量方法以及距离测量装置，其中，光栅尺包括至少一排固定序列编码光栅码道、至少一排变换序列编码光栅码道；固定序列编码光栅码道、变换序列编码光栅码道沿光栅尺的长度方向、以预设间隔平行排布在光栅尺上；固定序列编码光栅码道包括沿固定序列编码光栅码道的长度方向排布的、彼此等间距的各光栅孔；变换序列编码光栅码道包括沿变换序列编码光栅码道的长度方向排布的、彼此间距随机的各光栅孔，在使用本发明光栅尺能够准确地测量检测装置相对于光栅尺移动的距离，从而提高了在使用本发明光栅尺测量距离时的测量精度。