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公开/公告号CN108039338A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 华中科技大学;
申请/专利号CN201711193289.3
发明设计人 刘骅锋;涂良成;宋萧萧;王秋;饶康;渠自强;伍文杰;刘金全;范继;
申请日2017-11-24
分类号H01L21/768(20060101);
代理机构42201 华中科技大学专利中心;
代理人许恒恒;李智
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2023-06-19 05:20:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20171124
实质审查的生效
2018-05-15
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