一种基于CCD相干因子检测装置的最佳像面调校方法

摘要

本发明提供了一种基于CCD相干因子检测装置的最佳成像面调校方法，该检测装置用于检测光学投影曝光光刻系统中透镜轴向CCD离焦情况，包括激光器、平面反射镜、透镜、CCD图像传感器、手动X‑Y位移平台。本发明所提最佳成像面调校方法，首先利用CCD采集激光光斑图像，根据光斑、重心能量的改变情况移动X‑Y位移平台进行粗调；其次分别建立微调评价函数和精调评价函数移动X‑Y位移平台进行微调和精调；最后实现CCD在最佳像面的校准。本发明操作简单，检测灵敏度，提高了检测效率和可靠性。