一种平板电极介质阻挡放电的表面电荷测量系统

摘要

本发明公开了一种平板电极介质阻挡放电的表面电荷测量系统，所述系统包括放电单元、介质表面检测部分和检测数据处理部分，所述放电单元中放电气室内部放置有平板电极，外部与真空泵相连，平板电极的高压极由铜环高压极与ITO镀膜玻璃板组成，接地极由BSO晶体和接地铝电极组成，平板电极中间放置有被测试品；所述介质表面检测系统由激光器、柯勒照明系统、偏振光分离器、线性光线滤波片、λ/8波片、线性极化滤光器、滤光片、线性光线滤光器、彩光滤光器和高速摄像机组成，经由介质表面检测系统的光线最终输入到检测数据处理部分进行数据处理。所述系统能够准确定量地分析介质表面电荷的积累、分布和变化情况，具有广阔应用前景。