長尺大面積平行平板電極型誘電体バリア放電を用いたフッ素樹脂の表面処理

摘要

PTFEなどのフッ素系樹脂は、強固なC-F結合をもち、熱や化学試薬に対する高い安定性、高い電気抵抗などのいくつかの優れた特性を有しており、幅広い産業分野での利用が期待されている。しかしながら、高い非粘着性のため異種材料との接着が困難などの課題も残されている。そこで本研究では、大気圧下でのフッ素樹脂表面の機能性向上を実現するため、非熱平衡プラズマを用いた大面積低温処理技術の開発を目的としている。今回我々は、大面積かつ一様な表面処理を可能にする予備電離電極を有する長尺平行平板電極型誘電体バリア放電を用いて各種フッ素樹脂に対して水接触角の測定を行ったので報告する。