首页> 中国专利> 一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法

一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法

摘要

本发明提供了一种在无立式干涉仪条件下,球面镜面型受自重影响较大时,进行准确检测面型的方法,通过45°平面反射镜折转光路,消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明有效保证测试数据的准确性,降低科研成本,所使用工装仪器均为常用仪器,成本低,效率高。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/24 申请公布日:20180515 申请日:20171218

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2018-06-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20171218

    实质审查的生效

  • 2018-05-15

    公开

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